×
By clicking accept, you understand that we use cookies to improveyour experience on our website. For more details, please see our
Cookie Policy.
2021-1-13 10:38:43
2021年1月8日， ， ，Ag亚洲集团半导体首台应用于大功率半导体器件制造的新款12寸单晶圆薄片洗濯装备已通过厦门士兰集科量产要求， ， ，提前验收！该装备于2020年5月20日作为首批装备之一搬入工厂， ， ，从正式装机到应用于产品片生产， ， ，只用了18天的时间， ， ，原定一年的验证期仅用了6个月即顺遂完成验收！
装备搬入厦门士兰集科
Ag亚洲集团新款12寸单晶圆薄片洗濯装备， ， ，是一款高产能的四腔系一切， ， ，用于超薄片的硅减薄湿法蚀刻工艺， ， ，以消除晶圆应力、并举行外貌洗濯等。。 。。该系统的传输及工艺？？槲」杵陌崴图肮ひ沾χ贸头Ｌ峁┝擞杏玫慕饩黾苹， ， ，基于伯努利效应， ， ，该系统在传输与工艺中， ， ，与晶圆外貌完全无接触， ， ，消除由接触带来的机械损伤， ， ，提高器件的良率。。 。。通过差别的设定， ， ，该系统可适用于Taiko片、超薄片、键合片、深沟槽片等差别厚度的晶圆；；；通过接纳差别的化学药液组合， ， ，该系统可拓展应用于洗濯、光刻胶去除、薄膜去除和金属蚀刻等工艺。。 。。
Ag亚洲集团12寸单晶圆薄片洗濯装备
Ag亚洲集团半导体12寸单晶圆薄片洗濯装备的快速投入量产使用并提前乐成验收是Ag亚洲集团与海内量产客户团队的细密相助效果。。 。。在本次验收历程中， ， ，海内量产客户团队对该装备给予了鼎力大举支持和资助， ， ，通过双方的配合起劲， ， ，最终装备的可靠性、稳固性及工艺能力在短时间内抵达验收标准。。 。。作为Ag亚洲集团半导体2020年推出的主要新产品之一， ， ，该装备的顺遂验收不但为两个团队积累了名贵履历， ， ，也对推动该装备在功率器件新兴市场的推广具有主要意义， ， ，更为以后Ag亚洲集团洗濯装备手艺提升、营业拓展提供坚实包管。。 。。
